Chi tiết sản phẩm
- High Temperature & Inert Gas Vacuum Auto Oven
- Mã sản phẩm: QHVO-A12
- Hãng sản xuất : C SUN
- Giá: Liên hệ
- THÔNG TIN SẢN PHẨM
- Thông số kỹ thuật
- Catalogue
- Bình luận
Đặc trưng:
• Tuân thủ chứng nhận SEMI S2
• Cấp độ cao cấp cho phòng sạch
• Độ đồng đều nhiệt và kiểm soát áp suất tuyệt vời
• Môi trường không có oxy
• Tiêu thụ ít N 2 hơn và thời gian bảo dưỡng ngắn hơn
• SECS/GEM
• Hệ thống CIM.
Thông số kỹ thuật:
1. Hiệu suất nhiệt độ:
- 150°C-Tối đa 450°
- C ≥250°C ± 2,5°C
- ≤250°C ± 1,5°C
2. Tốc độ tăng nhiệt độ: 100°C-380°C (≥6°C/phút)
3. Giảm nhiệt độ: 380°C-100°C (≥3°C/phút)
4. Độ sạch: Lớp 100
5. Nồng độ O 2: <10ppm
6. Xử lý wafer:
Xử lý: 300 & 301mm
Độ dày: 600-1500um (tối đa)
Độ cong vênh: +/- 450um
Trọng lượng: 230-250 g.
Sản phẩm liên quan
